Описание
Пластины получают резанием слитков кремния на станках проволочной резки. Слиток приклеивается специальным клеем на стеклянную подложку и устанавливается в станок. Резание производится движущейся проволокой, натянутой на гребенку барабана с шагом, соответствующим требуемой толщине пластины, с помощью суспензии, в состав которой входит карбид кремния и минеральное масло. Одновременно разрезается четыре слитка. Полученные пластины отклеиваются от подложки и отмываются от следов суспензии. Далее проводится контроль геометрических параметров пластин и разбраковка по внешнему виду поверхности.Опции
| Параметр | Спецификация | |
| Стороны псевдоквадрата, мм ( дюймы) |
|
|
| Угол между сторонами псевдоквадрата, градусы |
|
|
| Минимальная и максимальная разница между арками псевдоквадрата, мм, не более |
1,5 |
|
| Толщина пластины, мкм |
|
|
| TTV, мкм, не более |
|
|
| BOW, мкм, не более |
|
|
| Краевые дефекты, mm, не более | (0,8d x 1L) |
