Описание
Монокристаллический кремний получается выращиванием слитков из расплава кремния в кварцевых тиглях на специальную монокристаллическую затравку с определенной кристаллографической ориентацией, которую наследует выращиваемый слиток. После окончания процесса выращенный слиток подвергается механической обработке для придания ему заданной формы ( цилиндрической –для кремния электронного качества, псевдоквадратной –для кремния солнечного качества). Базовым оборудованием для получения слитков кремния являются установки типа «Редмет». В связи с растущими требованиями рынка по увеличению диаметров выращиваемых кристаллов до 220 мм указанные установки постоянно модернизируются. В ходе модернизации увеличиваются размеры плавильной камеры, усиливаются приводы вращения затравки и тигля, совершенствуется конструкция теплового узла. Кроме того , создана установка РСМР CZ 1500/250 , разработанная специально для получения слитков диаметром 220 мм.Опции
| Параметр | Спецификация |
| Диаметр, мм (дюймы) | 78-200 (3-8) |
| Тип проводимости | p-тип (бор) n-тип (фосфор ) |
| Ориентация слитка | <100> <111> <110> <013> |
| Разориентация, градусы, не более | 2 |
| Удельное сопротивление (ρ), Oм·см | 0,1-50(n-тип), 0.005-80(p-тип) |
| Радиальный разброс удельного сопротивления, %, не более | 10 (n-тип) 8 (р-тип) |
| Содержание углерода, cм-3 ( ppma), не более | 2,5 х 1016 |
| Содержание кислорода, cм -3 (ppma), не более |
9х1017 (18) для ø150 мм
10х1017 (20) для ø200 мм
|
| Плотность дислокации, cм-2 , не более | 10 |
| Время жизни, мкс, не менее | 4ρ |
| Длина слитка, мм | до 800 |
