Описание
Монокристаллический кремний получается выращиванием слитков из расплава кремния в кварцевых тиглях на специальную монокристаллическую затравку с определенной кристаллографической ориентацией, которую наследует выращиваемый слиток. После окончания процесса выращенный слиток подвергается механической обработке для придания ему заданной формы ( цилиндрической –для кремния электронного качества, псевдоквадратной –для кремния солнечного качества). Базовым оборудованием для получения слитков кремния являются установки типа «Редмет». В связи с растущими требованиями рынка по увеличению диаметров выращиваемых кристаллов до 220 мм указанные установки постоянно модернизируются. В ходе модернизации увеличиваются размеры плавильной камеры, усиливаются приводы вращения затравки и тигля, совершенствуется конструкция теплового узла. Кроме того , создана установка РСМР CZ 1500/250 , разработанная специально для получения слитков диаметром 220 мм.Опции
| Параметр | Спецификация |
| Диаметр, мм (дюймы) | 100-200 (4-8) |
| Тип проводимости | p-тип (бор) n-тип (фосфор) |
| Ориентация слитка | <100> <111> |
| Разориентация, градусы, не более | 3 |
| Удельное сопротивление, Oм·см | 0,5 - 20,0 |
| Радиальный разброс удельного сопротивления, %, не более | 8 |
| Содержание углерода, см-3 ( ppma ), не более | 5х1016 (1 ) |
| Содержание кислорода, cм-3 (ppma), не более |
9х1017 (18)
1.1х1018 (22) для 8"
|
| Плотность дислокации, cм-2 , не более | 10 |
| Время жизни, мкс, не менее | 10 |
| Длина слитка, мм | до 800 |
