Монокристаллический кремний получается выращиванием слитков из расплава кремния в кварцевых тиглях на специальную монокристаллическую затравку с определенной кристаллографической ориентацией, которую наследует выращиваемый слиток.
После окончания процесса выращенный слиток подвергается механической обработке для придания ему заданной формы ( цилиндрической –для кремния электронного качества, псевдоквадратной –для кремния солнечного качества).
Базовым оборудованием для получения слитков кремния являются установки типа «Редмет». В связи с растущими требованиями рынка по увеличению диаметров выращиваемых кристаллов до 220 мм указанные установки постоянно модернизируются. В ходе модернизации увеличиваются размеры плавильной камеры, усиливаются приводы вращения затравки и тигля, совершенствуется конструкция теплового узла. Кроме того , создана установка РСМР CZ 1500/250 , разработанная специально для получения слитков диаметром 220 мм.
Монокристаллический кремний получается выращиванием слитков из расплава кремния в кварцевых тиглях на специальную монокристаллическую затравку с определенной кристаллографической ориентацией, которую наследует выращиваемый слиток.
После окончания процесса выращенный слиток подвергается механической обработке для придания ему заданной формы ( цилиндрической –для кремния электронного качества, псевдоквадратной –для кремния солнечного качества).
Базовым оборудованием для получения слитков кремния являются установки типа «Редмет». В связи с растущими требованиями рынка по увеличению диаметров выращиваемых кристаллов до 220 мм указанные установки постоянно модернизируются. В ходе модернизации увеличиваются размеры плавильной камеры, усиливаются приводы вращения затравки и тигля, совершенствуется конструкция теплового узла. Кроме того , создана установка РСМР CZ 1500/250 , разработанная специально для получения слитков диаметром 220 мм.
Пластины получают резанием слитков кремния на станках проволочной резки. Слиток приклеивается специальным клеем на стеклянную подложку и устанавливается в станок. Резание производится движущейся проволокой, натянутой на гребенку барабана с шагом, соответствующим требуемой толщине пластины, с помощью суспензии, в состав которой входит карбид кремния и минеральное масло. Одновременно разрезается четыре слитка.
Полученные пластины отклеиваются от подложки и отмываются от следов суспензии. Далее проводится контроль геометрических параметров пластин и разбраковка по внешнему виду поверхности.
Фотоэлектрические преобразователи производятся по технологии "трафаретной печати" ("screen printing")
